原装到货EBARA荏原 G6-E-A1 排气处理装置

原装到货EBARA荏原 G6-E-A1 排气处理装置

原装到货EBARA荏原 G6-E-A1 排气处理装置

G6-E-A1 燃烧式排气处理装置，整机外形尺寸 1200×650×1900mm，燃料选用都市燃气 CH₄，气体流入口数量为 1 路，最大气体流入量 400L/min。机型面向半导体制造工序，专为外延生长装置配套使用，处理外延工艺排出的工艺尾气。

设备采用紧凑化柜体设计，对厂房布置空间需求更小。装置支持大流量氢气和含氯气体同步处置，燃烧单元内置副生成物去除功能，维持稳定稼动水平，减少副产物堆积带来的影响。

柜体正面搭载人机交互屏幕与状态警示组件，操作人员可以直接查看设备运行参数，开展日常巡检和异常排查。一体化柜式结构便于管路接驳与现场就位。单进气口配置适合对接单台外延设备，承接外延制程排出的氢气与含氯排气，依靠燃烧架构完成尾气处置，适配外延机台连续产出的排气负荷，稳定支撑半导体外延产线作业。

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