池田屋商社供应EBARA荏原 G5-1200-P1～P6 大流量排气处理装置

池田屋商社供应EBARA荏原 G5-1200-P1～P6 大流量排气处理装置

池田屋商社供应EBARA荏原 G5-1200-P1～P6 大流量排气处理装置

G5-1200-P1～P6 燃烧式排气处理装置，外形尺寸 1200×1100×2200mm，燃料规格丙烷 C₃H₈，最大气体流入量 1200L/min，进气口可选 1 至 6 路。机型面向半导体大流量排气场景，用于 TEOS 等硅源相关可燃性工艺尾气处置。

燃烧单元搭载副生成物去除功能，罐体自带粉体自动排出机构，减少粉体堆积，延长维护间隔，减少停机频次。系统支持按需运行模式，公用介质供给可随处理气体种类与负荷自动调节，控制运行阶段物料消耗。

正面配备人机交互面板与报警指示灯，运行状态、参数信息清晰呈现，方便现场人员巡检排查。一体化大型柜式机身，适配半导体厂房集中尾气处理区域布置。大流量承载能力可以对接多组工艺腔体，处理薄膜沉积工序产生的含硅源尾气。燃烧处理架构可以稳定应对大流量可燃排气，适配产线长时间连续作业，实现集中式工艺尾气治理。

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