日本进口原装EBARA荏原 G5-600-P 大流量排气处理装置

日本进口原装EBARA荏原 G5-600-P 大流量排气处理装置

日本进口原装EBARA荏原 G5-600-P 大流量排气处理装置

G5-600-P1～P6 燃烧式排气处理装置，外形尺寸 1200×1100×2200mm，燃料采用丙烷 C₃H₈，最大气体流入量 600L/min，进气口数量可选 1 至 6 路。机型针对半导体制造工艺开发，适合 TEOS 等硅源类可燃性排气处理。

燃烧器部位标配副生成物去除功能，罐体配备粉体自动排出机构，降低粉体堆积带来的影响，拉长维护周期。系统支持按需运行，公用介质供给会根据处理气体种类、流量自动变化，管控运行物料耗用。

柜体集成操作屏幕与状态警示组件，运行参数直观可见，方便现场巡检、参数调整以及异常查看。整机柜式结构，便于厂房内管路对接与固定安装。多进气端口设计可以同时接入多台设备排气，承接薄膜制程排出含硅源尾气，依靠燃烧完成分解作业，适配半导体产线多机台并行生产，持续稳定处置工艺排气。

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