原装日本进口EBARA荏原 G6-E-A2 排气处理装置

原装日本进口EBARA荏原 G6-E-A2 排气处理装置

原装日本进口EBARA荏原 G6-E-A2 排气处理装置

G6-E-A2 燃烧式排气处理装置，外形尺寸 1200×650×1900mm，燃料规格为都市燃气 CH₄，气体流入口数量 2 路，最大气体流入量 400L/min。机型适配半导体外延生长工艺场景，处理外延装置排放的各类工艺排气。

紧凑柜体设计，便于在设备密集的洁净车间内摆放。装置可同步接收大流量氢气以及含氯气体，燃烧区域标配副生成物去除功能，降低副产物积聚，保障设备持续运转。

设备正面集成触控面板与状态指示灯，运行数据实时展示，方便现场人员巡检与参数调试。一体化柜式机身，管路安装便捷。双进气端口设计可以同时对接两台外延机台，收集多台设备排出的氢气与含氯尾气，通过燃烧方式完成分解净化，适配外延产线多机台并行生产，持续承接工艺排气。

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