原厂精品EBARA荏原 G5-1200-A1～A6 大流量排气处理装置

原厂精品EBARA荏原 G5-1200-A1～A6 大流量排气处理装置

原厂精品EBARA荏原 G5-1200-A1～A6 大流量排气处理装置

G5-1200-A1～A6 燃烧式排气处理装置，外形尺寸 1200×1100×2200mm，燃料规格为都市燃气 CH₄，最大气体流入量 1200L/min，进气口可在 1 至 6 路之间选型。机型面向半导体产线大负荷排气场景，适配 TEOS 等硅源相关可燃性工艺尾气处理。

燃烧单元内置副生成物去除功能，罐体集成粉体自动排出机构，减少粉体堆积带来的维护压力，延长两次维护之间的运行时长。系统支持按需运行模式，公用介质供给会跟随处理气体的种类与流量自动调整，优化长期运行物料消耗。

正面设置触控操作面板与状态指示灯，运行数据实时展示，便于现场人员巡检与参数调试。一体化大型柜式机身，适合布置在半导体厂房尾气集中处理区域。超大进气容量，能够同时对接多台工艺腔体，处理薄膜沉积工序所产生含硅源尾气。燃烧架构稳定处理大流量可燃排气，适配产线长时间不间断生产，满足集中式尾气治理需求。

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