原厂原装EBARA荏原 G5-600-A 大流量排气处理装置
原厂原装EBARA荏原 G5-600-A 大流量排气处理装置原厂原装EBARA荏原 G5-600-A 大流量排气处理装置G5-600-A1～A6 燃烧式排气处理装置，整机外形尺寸 1200×1100×2200mm，燃料选用都市燃气 CH₄，最大气体流入量 600L/min，进气口数量支持 1 至 6 路选配，相比基础款 G5 机型扩充进气端口上限。设备面向半导体制造工序，适合 TEOS 这类携带硅
原厂原装EBARA荏原 G5-600-A 大流量排气处理装置
原厂原装EBARA荏原 G5-600-A 大流量排气处理装置
G5-600-A1～A6 燃烧式排气处理装置，整机外形尺寸 1200×1100×2200mm，燃料选用都市燃气 CH₄，最大气体流入量 600L/min，进气口数量支持 1 至 6 路选配，相比基础款 G5 机型扩充进气端口上限。设备面向半导体制造工序，适合 TEOS 这类携带硅源的可燃性大流量排气处置。
装置在燃烧器区域标配副生成物去除功能，罐体部位搭载粉体自动排出机构，以此拉长维护间隔，减少现场停机频次。系统可根据待处理气体种类与负荷，执行 on-demand 运行模式，配套公用介质供给自动调节功能，降低持续运行阶段的物料耗用。
柜体搭载人机交互面板与状态警示组件，操作人员可以直观读取设备运行参数，方便日常巡检与故障排查。设备为一体化柜式结构，便于在半导体厂房完成就位与管路接驳。面对薄膜沉积等工序排出的含硅源可燃尾气，装置依靠燃烧分解实现尾气处置，多进气端口设计可以同时承接多台工艺设备排气，适配产线多机台并行作业场景，稳定承接连续排气负荷。
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