池田屋进口EBARA荏原 G5-500-P 系列排气处理装置

池田屋进口EBARA荏原 G5-500-P 系列排气处理装置

池田屋进口EBARA荏原 G5-500-P 系列排气处理装置

G5-500-P1～P4 燃烧式排气处理装置，外形尺寸 1200×650×1900mm，燃料规格丙烷 (C₃H₈)，最大气体流入量 500L/min，进气口可选 1 至 4 路。设备适合可燃性、活性、非活性气体处置，对包含 PFCs 的温室气体进行分解。

装置能够同步处理工艺气体与清洁吹扫气体，燃料供给量可根据处理对象动态调整，减少运行物料耗用。设备搭载自动刮除、流水水封结构，提升稼动时长，降低维护操作门槛。各类安全防护组件作为基础配置，保障设备作业稳定。

操作面板集成在柜体正面，运行状态与参数直观可视，方便人员巡检调试。一体化柜式机身便于在半导体厂房布置。大流量进气规格适配多腔体集中排气场景，对刻蚀、沉积制程尾气进行燃烧分解，满足产线连续排气处理需求。

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