日本进口原装EBARA荏原 G5-350-P 系列排气处理装置

日本进口原装EBARA荏原 G5-350-P 系列排气处理装置

日本进口原装EBARA荏原 G5-350-P 系列排气处理装置

G5-350-P1～P4 燃烧式排气处理装置，外形尺寸 1200×650×1900mm，燃料采用丙烷 (C₃H₈)，最大气体流入量 350L/min，进气口数量可选 1 至 4 路。设备适配可燃性、活性、非活性气体，针对 PFCs 类温室气体做分解处理。

装置可同时处理工艺气体以及清洁吹扫气体，燃料供给量能够依照待处理介质调节，控制运行物料消耗。机身搭载自动刮除、流水水封结构，提升稼动时长，简化现场维护工作。多种安全对策组件内置在设备中，支撑稳定作业。

柜体配备操作屏幕与状态指示灯，运行参数可直接查看，便于现场巡检。整机柜式设计，就位安装便捷。适配半导体产线中小型腔体排气治理，将刻蚀、薄膜工艺尾气送入装置，通过燃烧方式完成分解净化，适配持续生产。

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