原厂直销EBARA 荏原 TND-Single Plus-P 排气处理装置

原厂直销EBARA 荏原 TND-Single Plus-P 排气处理装置

原厂直销EBARA 荏原 TND-Single Plus-P 排气处理装置

TND-Single Plus-P1～P2 采用前置水洗 + 燃烧 + 后置水洗的 Wet-Burn-Wet 三段式架构，搭载荏原自研燃烧器，燃料选用丙烷 C₃H₈，处理含 PFC 各类工艺排气，调控 NOx、CO 产出水平。单台装置最大气体流入量 400L/min，进气口数量支持 1 路或 2 路选型，整机外形 1200×650×1980mm。

设备针对生成物设置对应处置方案，维护间隔相比传统机型获得延展，降低现场维护频次。公用物料消耗较少，利于管控持续运行投入。装置支持工艺气体、吹扫气体同步处置，适配半导体不间断产线排气。

柜体搭载操作屏幕与状态指示灯，运行信息直观呈现，方便现场人员巡检。一体化柜式设计，就位安装简单。

三段处理架构对多组分工艺尾气容纳能力更强，适配半导体刻蚀、薄膜工艺尾气处理，完成多级净化。

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