精品现货EBARA荏原 TND-Single Plus-A 排气处理装置

精品现货EBARA荏原 TND-Single Plus-A 排气处理装置

精品现货EBARA荏原 TND-Single Plus-A 排气处理装置

TND-Single Plus-A1～A2 采用 Wet-Burn-Wet 三段处理架构，前置水洗、中段燃烧、后置水洗，搭载荏原独有燃烧方式，燃料选用都市燃气 CH₄，处理含有 PFC 成分的各类工艺气体，控制 NOx 与 CO 产出。单台装置最大气体流入量 400L/min，进气口数量可选 1 或 2 路，外形尺寸 1200×650×1980mm。

设备针对生成物设置对应处置方案，维护间隔得到拉长，减少停机维护次数。公用物料消耗水平可控，有助于控制长期运行支出。装置可同时处理工艺气体以及吹扫气体，适配半导体连续生产工况。

柜体集成人机交互面板与状态警示灯，参数读取与故障排查便捷。整机一体化柜式结构，方便产线布局。三段式处理结构对于复杂组分尾气适配更强，多用于半导体工艺尾气净化，处理各类含 PFC 制程排气。

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