原装精品到货EBARA荏原 G5-500-A 系列排气处理装置

原装精品到货EBARA荏原 G5-500-A 系列排气处理装置

原装精品到货EBARA荏原 G5-500-A 系列排气处理装置

G5-500-A1～A4 燃烧式排气处理装置，外形尺寸 1200×650×1900mm，燃料规格为都市燃气 (CH₄)，最大气体流入量 500L/min，进气口可在 1 至 4 路之间选型。设备适合可燃性、活性、非活性气体处理，能够分解包含 PFCs 的温室气体。

装置支持工艺气体与清洁吹扫气体同步处理，燃料供给量可随处理对象调整，减少运行物料耗用。设备配置自动刮除、流水水封等结构，拉长稳定运行时段，降低维护操作难度。各类安全防护组件均作为基础配置，为设备运行提供保障。

人机交互面板集成于柜体，运行信息直观展示，方便人员巡检与参数调试。柜式一体化机身便于在半导体厂房内布设。更大进气容量适配产线多腔体排气集中处理场景，对刻蚀、沉积工序尾气开展燃烧分解，适配连续生产工况。

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