进口原装EBARA荏原 G5-350-A 系列排气处理装置

进口原装EBARA荏原 G5-350-A 系列排气处理装置

进口原装EBARA荏原 G5-350-A 系列排气处理装置

G5-350-A1～A4 燃烧式排气处理装置，整机外形尺寸 1200×650×1900mm，以都市燃气 (CH₄) 作为燃料，最大气体流入量 350L/min，进气口数量支持 1 至 4 路选配。设备适配可燃性、活性、非活性气体处置，可对包含 PFCs 在内的温室气体完成分解作业。

装置可同时接收工艺气体与清洁吹扫气体，燃料供给量可根据待处理介质进行调节，控制运行期间物料消耗。设备搭载自动刮除、流水水封等结构，提升稼动时长，简化现场维护作业。各类安全相关对策组件作为基础配置装配于设备内部，保障装置稳定运转。

柜体搭载触控操作面板与状态警示组件，便于现场人员读取运行参数，开展巡检作业。一体化柜式结构便于产线就位布置，适用于半导体制造产线，承接刻蚀、薄膜沉积工序排出的各类工艺尾气，完成燃烧分解处理，匹配产线持续作业需求。

EBARA荏原产品有选型需求以及购买请咨询池田屋张工-13⑧89⑨159⑥6，原装正品，现货秒发。