原装进口EBARA荏原 TND-Single-P1～P4 排气处理装置

原装进口EBARA荏原 TND-Single-P1～P4 排气处理装置

原装进口EBARA荏原 TND-Single-P1～P4 排气处理装置

TND-Single-P1～P4 采用荏原自研燃烧器，Burn-Wet 工艺架构，以丙烷 (C₃H₈) 作为燃料来源，对含有 PFC 的各类工艺排气做分解处理，管控 NOx、CO 排放。单路进气口最大流入量 200L/min，进气口数量支持 1 到 4 路选配，整机外形 1200×650×1980mm。

设备配套生成物应对方案，延长维护间隔，减少现场维护工时。运行过程公用物料消耗较少，维持稳定的运行成本。装置支持工艺气体与吹扫气体同步处置，适配半导体产线不间断排气需求。

操作面板集成显示屏与报警指示灯，运行状态直观可视。柜式一体化设计，安装部署便捷，适用于半导体制造车间，处理刻蚀、沉积工序产生的含 PFC 尾气，完成燃烧分解与水洗净化。

EBARA荏原产品有选型需求以及购买请咨询池田屋张工-13⑧89⑨159⑥6，原装正品，现货秒发。