原厂原装EBARA荏原 TND-Single-A1～A2 排气处理装置

原厂原装EBARA荏原 TND-Single-A1～A2 排气处理装置

原厂原装EBARA荏原 TND-Single-A1～A2 排气处理装置

TND-Single-A1～A4 采用荏原独有燃烧方式，搭配燃烧加水洗的 Burn-Wet 架构，可处理含有 PFC 成分的各类工艺气体，实现尾气处置同时控制 NOx、CO 产出水平。设备采用都市燃气 (CH₄) 作为燃料，单路进气口最大流入量 200L/min，进气口数量可选 1 至 4 路。整机外形尺寸 1200×650×1980mm。

设备针对各类生成物做对应处置方案，维护间隔相比旧款机型获得拉长，减少现场停机频次。运行阶段公用物料消耗控制合理，降低持续运行投入。装置可同步处理工艺气体与吹扫气体，适配半导体产线连续排气工况。

柜体配备触控显示屏与状态指示灯，方便人员查看运行参数。整机柜式结构，便于在厂房内固定就位，适合半导体工艺端含 PFC 尾气治理，承接刻蚀、薄膜制程排放尾气，稳定完成燃烧分解与水洗处理。

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