池田屋商社供应EBARA荏原 G-WS1000 湿式排气处理装置

池田屋商社供应EBARA荏原 G-WS1000 湿式排气处理装置

池田屋商社供应EBARA荏原 G-WS1000 湿式排气处理装置

G-WS1000 湿式排气处理装置，不需要燃料即可开展废气处理作业，降低持续运行投入。设备沿用燃烧式排气装置多年积累的副生成物应对方案，拉长维护间隔，帮助现场稳定稼动，削减维护相关工时与费用。

设备本体维护区域集中在柜体正面，对安装空间要求不高，在空间受限的副厂区内也可灵活规划布局。外形尺寸 914×736×1727mm，配备 4 路气体流入端口，最大处理风量 1000L/min。

可在常温状态处理多种水溶性工艺气体，包含 NH₃、DCS、TiCl₄、WF₆、HF、HCl，适配半导体产线工艺排气处理场景。柜体集成触控操作面板与状态指示灯，方便操作人员查看设备运行状态，便于产线集成管理。

整机采用柜式带轮结构，移位就位便捷，适合半导体制造工艺端尾气处理，承接刻蚀、薄膜工艺排出的水溶性尾气，完成净化处理，匹配产线连续生产作业需求。

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