进口到货EBARA荏原 EST25N 螺杆干式真空泵

进口到货EBARA荏原 EST25N 螺杆干式真空泵

进口到货EBARA荏原 EST25N 螺杆干式真空泵

EST25N 螺杆干式真空泵最大排气速度 2500L/min，采用螺杆转子结构，专门针对 CVD 等产生反应副产物的工艺场景设计。泵腔内部保持高温环境，降低副产物凝结附着概率，允许较大的进气流量，适配沉积工艺气体波动工况。

设备搭载回转速度自动控制模块，可根据进气流量自动调节转速，维持稳定抽气性能；配备高性能通讯功能，支持与产线控制系统对接。泵体标配耐蚀材质，耐受腐蚀性工艺气体，内置数据保存功能，报警信息分级输出，便于故障排查。

多用于半导体中小腔体 CVD 薄膜沉积工序，工艺反应生成的副产物不易沉积在泵腔内部，减少设备拆洗维护频次。转速自适应调节可以应对工艺流量波动，保障真空环境稳定，减少工艺波动对成品的影响。

独立式安装机身，摆放位置不受过多限制，维护点位设计合理。在半导体研发产线、中小规模沉积腔体场景，EST25N 可以持续稳定处理含副产物的工艺气体，兼顾抽气稳定性与运维便利性，助力薄膜沉积工艺平稳运行。

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