OSAKA VACUUM大阪真空

原厂原装OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine1704M-B 涡轮分子泵

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TGkine1704M-B 磁悬浮轴承涡轮分子泵,将电源与控制器集成在泵体内部,省去外置控制器的布线空间,整机重量 65kg,输入电压 AC200-240V 单相,最大功耗 900VA,最大电流 5.3A。吸气口规格 ISO-B200/VG200,排气口 KF40,氮气排气速度可达 1650L/s,附加金属保护网时为 1570L/s,氢气排气速度 1550L/s。极限压力低于 2×10⁻⁷Pa,最大氮气气体流量 4400sccm,氩气流量 2600sccm,启停时间均不超过 10 分钟,支持任意角度安装。


设备机身采用轻巧结构设计,搭配省电运行方案,外壳防护等级 IP54,可应对车间环境粉尘与溅水。配备多种通信接口,方便接入产线自动化系统,符合 CE、NRTL、SEMI-S2 相关规范。磁悬浮轴承结构无机械接触磨损,降低润滑油维护需求,运行震动小,真空稳定性佳。


该泵适配半导体镀膜、分析仪器、科研真空腔体等场景,一体化结构简化设备布局,任意角度安装特性适配复杂设备腔体结构。在需要高真空环境的精密工艺中,TGkine1704M-B 可稳定抽取气体,维持目标真空度,减少配套组件占用空间,为精密真空工艺提供稳定高真空环境。


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