原装直销OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine3800MI-B 涡轮分子泵

TGkine3800MI-B 为 TGkineMI-B 系列一体化磁悬浮涡轮分子泵，吸气接口可选 ISO-B320、VG300。氮气排气速度 3600L/s，加装金属保护网后 3400L/s，氢气排气速度 2700L/s；氮气最大压缩比大于 2×10⁸，氢气压缩比大于 2×10⁷，极限压力低于 5×10⁻⁷Pa。最大氮气流量 2800sccm，氩气流量 2100sccm；启动时长≤12 分钟，停止时长≤14 分钟，允许辅助压力 100Pa，推荐前级泵≥2000L/min，ISO-B 版本重量 89kg，VG 版本 87kg。

主要适配半导体、FPD、MEMS 制造刻蚀设备，用于工艺会生成反应生成物、物料高温易挥发的真空工况。泵体与控制器集成一体，节省安装空间，磁悬浮轴承振动水平低，大抽速满足大型腔体真空需求。在半导体连续刻蚀产线中，减少沉积物造成的故障，保障真空环境稳定，提升设备稼动率。