池田屋直销EBARA荏原EST10N 独立安装螺杆干式真空泵

池田屋直销EBARA荏原EST10N 独立安装螺杆干式真空泵

池田屋直销EBARA荏原EST10N 独立安装螺杆干式真空泵

EST10N 螺杆式干式真空泵，最大排气速度 1000L/min，属于 EST 系列小排量机型，专为 CVD 这类会生成反应副产物的工艺开发。设备采用螺杆转子结构，泵内部维持高温状态，减少副产物在泵体内壁附着堆积。

产品支持大进气流量通入，搭载回转速度自动控制功能，可跟随进气流量调节转速，同时配备通讯接口接入产线控制系统。泵体标准采用耐蚀材料，可应对腐蚀性工艺气体，采用泵体高度管控方案，具备数据保存、分级报警功能。

该机型适合半导体小型腔体 CVD 沉积工艺，工艺过程产生的副产物不易在泵内凝结，降低泵体堵塞风险。转速自动调节功能可以匹配工艺流量变化，稳定维持真空状态，通讯功能支持设备远程监控，便于工厂自动化管理。

独立落地安装结构，布置灵活，维护便捷。在实验室小型沉积设备、半导体研发腔体场景，EST10N 能够稳定抽取工艺气体与副产物，减少停机清理频次，为存在副产物生成的真空沉积工艺提供稳定可靠的抽气方案。

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