原厂进口到货EBARA荏原 EV-M505F 干式真空泵

原厂进口到货EBARA荏原 EV-M505F 干式真空泵

原厂进口到货EBARA荏原 EV-M505F 干式真空泵

EV-M505F 干式真空泵最大排气速度 50000L/min，到达压力功耗 3.9kW，外形尺寸 485×990×910mm，整机重量 580kg。该泵面向半导体、液晶面板、太阳能电池等高负荷工艺开发，能够处理制程反应生成的各类副产物，减少停机带来的产能损失。

泵体标准配置耐蚀材料，应对腐蚀性工艺气体，在高负荷承受能力和能耗控制之间取得平衡。EV-M 系列拥有丰富机型，可根据腔体规格、排气需求挑选适配泵型。

该机型适配半导体、光伏、液晶大腔体连续生产工艺，适合刻蚀、沉积等副产物产出较多的工序。耐蚀泵体降低工艺介质侵蚀，持续稳定维持目标真空度，保障批次产品工艺一致性。

设备维护空间充足，方便产线定期保养。在半导体晶圆制造、光伏电池片镀膜等大腔体产线，EV-M505F 高效抽除工艺气体与副产物，维持稳定真空环境，减少意外停机，兼顾产能需求与能耗管控。

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