原装直销进口EBARA荏原 EV-M805F 干式真空泵

原装直销进口EBARA荏原 EV-M805F 干式真空泵

原装直销进口EBARA荏原 EV-M805F 干式真空泵

EV-M805F 干式真空泵最大排气速度 80000L/min，到达压力功耗 4.6kW，外形尺寸 485×1180×910mm，整机重量 820kg。产品面向半导体、液晶面板、太阳能电池等高负荷工艺开发，能够处理工艺反应产生的副产物，抑制停机时长，降低产线运行成本。

泵体标配耐蚀材料，可耐受腐蚀性工艺气体，在高负荷工况与节能需求之间实现平衡。丰富的机型选择可以匹配不同工艺排气速度需求，方便产线选型配套。

多用于液晶面板、半导体、光伏电池大腔体连续制程，适合刻蚀、薄膜沉积等副产物产出较多的工序。耐蚀结构抵御工艺介质侵蚀，持续稳定维持真空度，保障批次产品工艺一致性。

设备预留充足维护空间，方便产线开展保养作业。在液晶面板、半导体大尺寸腔体量产产线，EV-M805F 高效抽除工艺气体与副产物，降低停机概率，在满足高负荷生产要求的同时控制电力消耗，为精密制造产线提供可靠真空动力。

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