进口日本EBARA荏原 EV-M802N 干式真空泵

进口日本EBARA荏原 EV-M802N 干式真空泵

进口日本EBARA荏原 EV-M802N 干式真空泵

EV-M802N 是 EV-M 系列大抽速干式真空泵，适配半导体、液晶、光伏等高负荷制造工艺，可处理工艺反应副产物。EV-M802N 干式真空泵最大排气速度 80000L/min，到达压力功耗 2.8kW，外形尺寸 930×1020×1030mm，整机重量 740kg。面向半导体、液晶面板、太阳能电池等高负荷工艺开发，可处理制程产生的反应副产物，减少停机时长，降低产线运行成本。

泵体标配耐蚀材料，可耐受腐蚀性工艺气体，在高负荷工况与节能需求之间实现平衡。完整的产品系列覆盖多种排气速度，方便产线根据腔体大小和工艺条件选型。

适合光伏电池、半导体、液晶面板大腔体连续生产工艺，在刻蚀、薄膜沉积等副产物较多的工序稳定工作。耐蚀泵体降低工艺介质带来的损耗，长时间维持稳定真空条件，保障产品工艺一致性。

设备结构便于现场维护，适配工厂连续化生产节奏。在太阳能电池、半导体大腔体量产产线，EV-M802N 高效抽除工艺气体与副产物，减少非计划停机，在承载高负荷工艺的同时控制能耗，为精密制造产线提供稳定真空。

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