日本进口EBARA荏原 EV-M502N 干式真空泵

日本进口EBARA荏原 EV-M502N 干式真空泵

日本进口EBARA荏原 EV-M502N 干式真空泵

EV-M502N 干式真空泵最大排气速度 50000L/min，到达压力功耗 2.1kW，外形尺寸 485×975×870mm，整机重量 500kg。该泵专为半导体、液晶面板、太阳能电池等高负荷工艺打造，能够处理工艺反应产生的副产物，减少停机时间，控制产线运行成本。

泵体标准配置耐蚀材料，可应对腐蚀性工艺气体，在高负荷承受能力和能耗之间实现平衡。丰富的机型选择可以匹配不同工艺排气速度需求，方便产线选型配套。

多用于液晶面板、半导体、光伏电池大腔体连续制程，适合刻蚀、薄膜沉积等副产物产出较多的工序。耐蚀结构抵御工艺介质侵蚀，持续稳定维持真空度，保障批次产品工艺一致性。

设备预留充足维护空间，方便产线开展保养作业。在液晶面板、半导体大尺寸腔体量产产线，EV-M502N 高效抽除工艺气体与副产物，降低停机概率，在满足高负荷生产要求的同时控制电力消耗，为精密制造产线提供可靠真空动力。

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