池田屋进口贸易EBARA荏原 EV-M302N 干式真空泵

池田屋进口贸易EBARA荏原 EV-M302N 干式真空泵

池田屋进口贸易EBARA荏原 EV-M302N 干式真空泵

EV-M302N 干式真空泵最大排气速度 30000L/min，到达压力功耗 2.3kW，外形尺寸 380×910×830mm，整机重量 400kg。产品面向半导体、液晶面板、太阳能电池等高负荷工艺开发，可处理制程反应生成的各类副产物，抑制停机时长，降低产线运行成本。

泵体标配耐蚀材料，可耐受腐蚀性工艺气体，在高负荷工况与节能需求之间达成平衡。完整的产品系列可覆盖不同排气速度需求，方便产线按照腔体容积、工艺条件选型。

该机型适配半导体、光伏、液晶中大腔体连续生产工艺，在刻蚀、沉积等容易产生副产物的工序中稳定运行。耐蚀泵体降低工艺介质带来的磨损，保障长时间连续生产的真空稳定性。

设备结构便于维护保养，适配工厂连续生产模式。在半导体晶圆制造、光伏电池片镀膜等中大腔体产线，EV-M302N 能够高效抽除工艺气体与副产物，维持稳定真空环境，减少意外停机，兼顾产能需求与能耗管控。

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