池田屋现货 EBARA荏原 EV-M202N 干式真空泵

池田屋现货 EBARA荏原 EV-M202N 干式真空泵

池田屋现货 EBARA荏原 EV-M202N 干式真空泵

EV-M202N 干式真空泵，最大排气速度 20000L/min，到达压力功耗 1.9kW，外形尺寸 380×820×752mm，整机重量 360kg。该泵针对半导体、液晶、光伏电池等高负荷工艺设计，能够处理制程产生的反应副产物，减少停机带来的产能损失。

设备采用标准耐蚀材料，应对腐蚀性工艺气体，在高负荷工艺承受能力和能耗控制上取得平衡。EV-M 系列拥有丰富机型，可根据腔体规格、排气需求挑选适配泵型。

适合光伏电池、半导体、液晶面板中大腔体工艺，例如薄膜沉积、刻蚀等会产生固体或气态副产物的工序。泵体耐蚀结构抵御工艺介质侵蚀，持续稳定维持目标真空度，保障工艺一致性。

设备运维设计友好，方便产线开展定期保养。在太阳能电池量产、半导体中段制程等场景，EV-M202N 持续稳定抽除工艺气体与副产物，降低停机频次，在满足高负荷生产要求的同时控制电力消耗，为精密制造产线提供稳定真空支持。

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