池田屋直销EBARA荏原 EV-S200 干式真空泵

池田屋直销EBARA荏原 EV-S200 干式真空泵

池田屋直销EBARA荏原 EV-S200 干式真空泵

EV-S200 (P/N) 是 EV-S 系列大抽速独立安装干式真空泵，外形尺寸 275×650×580mm，整机重量 170kg，最大排气速度 20000L/min，到达压力时功耗 0.75kW。设备搭载排气速度可变功能以及通讯接口，支持与产线控制系统对接，配备完善传感监测系统，减少设备停机时间。

机型支持耐腐蚀材质版本与氮气吹扫版本，应对腐蚀性工艺气体。50Hz 与 60Hz 供电环境下，设备抽气性能保持一致，适配不同地区工厂供电条件。产品在节能、体积、重量上做优化，在大抽速等级设备中占用空间更小。

适用场景覆盖负载锁腔、SEM 轻负荷工艺，同时可应对腐蚀性气体工艺，适合半导体大尺寸真空腔体抽气作业。内置传感组件实时监控泵运行状态，提前预警故障隐患，降低产线停机带来的损失。

独立落地式安装，布置灵活，适配半导体量产产线大腔体真空工艺。当工艺气体具备腐蚀性时，可选用氮气吹扫或者耐腐蚀版本，保护泵体内部结构。通讯接口支持远程数据读取与参数设置，方便工厂集中管理设备。针对半导体大腔体抽真空，EV-S200 (P/N) 能够快速建立目标真空环境，稳定处理各类工艺气体，兼顾抽气能力、能耗控制与运维便利性。

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