池田屋贸易EBARA荏原 EV-S100 干式真空泵

池田屋贸易EBARA荏原 EV-S100 干式真空泵

池田屋贸易EBARA荏原 EV-S100 干式真空泵

EV-S100 (P/N) 独立安装干式真空泵，外形尺寸 260×510×520mm，整机重量 120kg，最大排气速度 10000L/min，到达压力时功耗 0.65kW。作为 EV-S 系列中高抽速机型，搭载可调排气速度与通讯功能，可接入工厂自动化系统，内置多组传感器监测运行状态，降低停机时长。

机型可选择耐腐蚀材质版本或者氮气吹扫版本，适配不同工艺气体。50Hz/60Hz 供电条件下性能稳定，不受供电频率影响。产品在节能、占地、重量方面做优化，相比同抽速设备占用空间更小。

适用场景包含负载锁室、SEM 轻负荷工艺，同时可用于腐蚀性气体工艺，适配半导体中等腔体真空抽取。传感监测体系实时采集泵体运行参数，提前识别异常，减少产线突发停机。

独立式安装结构，放置灵活，便于产线布局。针对半导体中等腔体抽真空，当工艺气体带有腐蚀性时，可选用对应耐腐蚀或者氮气吹扫机型，保护泵内部组件。设备通讯接口方便接入产线 SCADA 系统，实现远程监控。在半导体制造、样品分析真空腔体场景，EV-S100 (P/N) 可以稳定提供中高抽速真空，平衡能耗、空间占用和长期运维成本。

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