池田屋商社EBARA荏原 EV-M102N 干式真空泵

池田屋商社EBARA荏原 EV-M102N 干式真空泵

池田屋商社EBARA荏原 EV-M102N 干式真空泵

EV-M102N 干式真空泵面向精密制造高负荷工艺开发，最大排气速度 10000L/min，到达压力功耗 1.8kW，外形尺寸 380×790×752mm，整机重量 320kg。设备可承受工艺产生的反应副产物，减少停机时间，控制产线运行开支。

泵体标配耐蚀材料，适配腐蚀性工艺气体，在高负荷工况与节能需求之间实现平衡。丰富的产品序列可以匹配不同工艺排气速度需求，方便产线根据腔体大小选型。

这款机型多用于液晶面板、太阳能电池、半导体中等腔体制程，在刻蚀、薄膜沉积等会生成副产物的工艺中，维持稳定真空环境。耐蚀泵体结构降低腐蚀性介质、工艺副产物带来的损耗，延长设备运维周期。

整机结构便于现场维护，适配工厂连续化生产节奏。在液晶面板、光伏电池片量产产线中等腔体真空工艺场景，EV-M102N 可以稳定抽取工艺气体，应对副产物堆积问题，减少非计划停机，助力产线稳定生产。

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