原厂直销EBARA荏原 EV-M20N 干式真空泵

EV-M20N 是 EV-M 系列基础型号干式真空泵，专为半导体、液晶、太阳能电池制造等高负荷工艺打造，能够处理工艺产生的反应副产物，抑制设备停机时长，降低运行成本。设备最大排气速度 1800L/min，到达压力状态功耗 1.2kW，外形尺寸 370×770×450mm，整机重量 170kg。

泵体标准采用耐蚀材料，适配各类腐蚀性工艺气体，满足高负荷生产环境的使用需求。产品在高负荷工艺适配性与节能特性之间取得平衡，可根据工艺条件、排气速度需求选择对应机型，产品系列覆盖多种抽速档位。

该机型适合中小型真空腔体，用于半导体、光伏电池、液晶面板的制程抽真空，应对工艺反应生成的副产物，减少副产物对泵体的损伤。稳定的抽气能力保障工艺真空环境持续达标，降低产线停机概率。

设备结构设计便于维护检修，在光伏电池、半导体小腔体镀膜、刻蚀等工况中，能够持续稳定运行。在需要应对副产物、同时兼顾能耗管控的产线，EV-M20N 可以稳定完成真空抽取工作，为高负荷精密制造工艺提供可靠真空基础。

EBARA荏原产品有选型需求以及购买请咨询池田屋张工-13⑧89⑨159⑥6，原装正品，现货秒发。