原厂现货EBARA荏原 EV-S50 干式真空泵

原厂现货EBARA荏原 EV-S50 干式真空泵

原厂现货EBARA荏原 EV-S50 干式真空泵

EV-S50 (P/N) 独立安装干式真空泵，外形尺寸 230×450×520mm，整机重量 100kg，最大排气速度 5000L/min，到达压力时功耗 0.55kW。属于 EV-S 系列中段排量机型，配备排气速度可调功能以及通讯接口，支持上位机数据交互，内置丰富传感组件，缩短设备停机时间。

产品支持耐腐蚀版本与氮气吹扫版本两种选型，应对不同工艺介质。不管是 50Hz 还是 60Hz 供电，设备性能稳定，减少供电差异带来的参数波动。机身经过轻量化与小型化优化，能耗控制表现良好，节省厂房空间。

应用范围覆盖负载锁腔、SEM 这类轻负荷真空应用，同时可处理带有腐蚀性气体的工艺，适配半导体各类中小型腔体抽真空。传感系统持续监测泵运行状态，实现故障提前预判，减少产线意外停机损失。

紧凑的机身方便在设备机架附近布置，独立式结构无需复杂配套。对于需要中等抽速，工艺介质存在一定腐蚀性的半导体腔体、样品处理真空腔，EV-S50 (P/N) 可以稳定维持真空环境，兼顾运行能耗、运维便捷性，适配半导体研发与量产产线多种真空工艺。

EBARA荏原产品有选型需求以及购买请咨询池田屋张工-13⑧89⑨159⑥6，原装正品，现货秒发。