进口原装EBARA荏原 EV-S20 干式真空泵

进口原装EBARA荏原 EV-S20 干式真空泵

进口原装EBARA荏原 EV-S20 干式真空泵

EV-S20 (P/N) 是 EV-S 系列小排量干式真空泵，面向轻负荷真空工况开发，可独立落地安装。整机外形尺寸 230×450×274mm，重量 60kg，最大排气速度 1670L/min，到达压力时功耗 0.4kW。设备配备排气速度可变功能以及通信接口，便于接入产线控制系统，搭配完善传感功能，减少设备停机时长。

该机型支持耐腐蚀材料版本与氮气吹扫版本选型，满足不同工艺气体需求，50Hz 与 60Hz 供电环境下输出性能保持一致，适配不同地区工厂供电条件。产品追求节能、省空间与轻量化设计，占用厂房面积少，搬运布置便捷。

适用场景包含负载锁腔、SEM 等轻负荷工艺，也可适配腐蚀性气体工艺，一机覆盖多种真空需求。完善的传感监测系统可以实时采集泵体运行状态，提前预警异常情况，降低意外停机带来的生产影响。

设备模块化设计便于维护检修，可根据工艺气体特性选择对应的材质版本，规避腐蚀性气体对泵体的损伤。在半导体分析设备、样品转移腔等中小真空腔体场景，EV-S20 (P/N) 可以提供稳定的抽气能力，兼顾能耗控制与空间利用率，为轻负荷真空工艺提供可靠抽气方案。

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