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到货原厂精品 EBARA荏原 EMT1307M 磁浮涡轮分子泵

到货原厂精品 EBARA荏原 EMT1307M 磁浮涡轮分子泵到货原厂精品 EBARA荏原 EMT1307M 磁浮涡轮分子泵EMT1307M 属于 EMT 磁悬浮涡轮分子泵,磁悬浮轴承设计,控制器单独外置,最大抽气速率 1300L/s。散热方案有空冷、水冷可选,可配置高温或者耐蚀规格,适配腐蚀性、高温工艺环境。设备振动水平低,支持任意姿态安装,搭载网络接口便于系统集成,满足 CE、SEMI S2、

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EMT1307M 属于 EMT 磁悬浮涡轮分子泵,磁悬浮轴承设计,控制器单独外置,最大抽气速率 1300L/s。散热方案有空冷、水冷可选,可配置高温或者耐蚀规格,适配腐蚀性、高温工艺环境。


设备振动水平低,支持任意姿态安装,搭载网络接口便于系统集成,满足 CE、SEMI S2、NRTL 标准。


磁浮转子无机械接触,运行稳定,维护工作量少,能够处理工艺反应生成物。


较大抽速适合中型到大型真空腔体,广泛应用于表面分析、真空处理设备,快速抽除腔体气体,维持实验所需高真空环境。


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