原厂到货EBARA荏原 EMT907M 磁悬浮涡轮分子泵
原厂到货EBARA荏原 EMT907M 磁悬浮涡轮分子泵原厂到货EBARA荏原 EMT907M 磁悬浮涡轮分子泵EMT907M 是 EMT 系列磁悬浮涡轮分子泵,磁浮轴承结构,控制器独立分开,最大抽气速率 900L/s。散热有空冷与水冷方案可选,可增加高温或耐蚀选配组件,应对特殊工艺介质。设备振动小,可多方向安装,具备网络通讯接口,方便集成到整套设备,符合 CE、SEMI S2、NRTL 规范。无
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原厂到货EBARA荏原 EMT907M 磁悬浮涡轮分子泵
原厂到货EBARA荏原 EMT907M 磁悬浮涡轮分子泵
EMT907M 是 EMT 系列磁悬浮涡轮分子泵,磁浮轴承结构,控制器独立分开,最大抽气速率 900L/s。散热有空冷与水冷方案可选,可增加高温或耐蚀选配组件,应对特殊工艺介质。
设备振动小,可多方向安装,具备网络通讯接口,方便集成到整套设备,符合 CE、SEMI S2、NRTL 规范。
无接触式磁浮轴承降低磨损,适配长时间连续运行,可承受含反应副产物的工艺工况。
抽气能力更强,适用于中型真空腔体,常用于分析检测设备、真空镀膜、材料表征平台,快速建立高真空环境,保障各类精密实验与工艺开展。
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