池田屋贸易进口 EBARA荏原 EMT427M 磁浮分子泵
池田屋贸易进口 EBARA荏原 EMT427M 磁浮分子泵池田屋贸易进口 EBARA荏原 EMT427M 磁浮分子泵EMT427M 为 EMT 系列磁悬浮涡轮分子泵，采用磁浮轴承技术，控制器独立外置。最大抽气速率 400L/s，散热支持空冷、水冷选型，可选择高温或者耐蚀配件应对腐蚀性气体、高温工艺环境。设备振动幅度小，可多角度安装，搭载网络通讯接口，便于整机集成，满足 CE、SEMI S2、NRT
池田屋贸易进口 EBARA荏原 EMT427M 磁浮分子泵
池田屋贸易进口 EBARA荏原 EMT427M 磁浮分子泵
EMT427M 为 EMT 系列磁悬浮涡轮分子泵，采用磁浮轴承技术，控制器独立外置。最大抽气速率 400L/s，散热支持空冷、水冷选型，可选择高温或者耐蚀配件应对腐蚀性气体、高温工艺环境。
设备振动幅度小，可多角度安装，搭载网络通讯接口，便于整机集成，满足 CE、SEMI S2、NRTL 相关标准。
磁悬浮结构转子无实体接触摩擦，运行稳定，能够应对含反应生成物的工艺环境。
设备适配多种精密设备真空需求，多用于表面分析设备、小型镀膜腔体等，稳定获取高真空，保障样品检测与薄膜制备的真空条件。
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