池田屋商社供应EBARA荏原 EMT397M 磁浮涡轮分子泵
池田屋商社供应EBARA荏原 EMT397M 磁浮涡轮分子泵池田屋商社供应EBARA荏原 EMT397M 磁浮涡轮分子泵EMT397M 属于 EMT 磁悬浮轴承型涡轮分子泵控制器为独立分体式设计,最大抽气速率 340L/s。散热方式可在空冷、水冷两种方案之间按需选择,还可增配高温规格或耐蚀规格组件,适配特殊工艺气体。设备振动水平低,支持多种安装姿态,配套网络接口,方便接入设备控制系统,符合 CE、
池田屋商社供应EBARA荏原 EMT397M 磁浮涡轮分子泵池田屋商社供应EBARA荏原 EMT397M 磁浮涡轮分子泵EMT397M 属于 EMT 磁悬浮轴承型涡轮分子泵控制器为独立分体式设计,最大抽气速率 340L/s。散热方式可在空冷、水冷两种方案之间按需选择,还可增配高温规格或耐蚀规格组件,适配特殊工艺气体。设备振动水平低,支持多种安装姿态,配套网络接口,方便接入设备控制系统,符合 CE、
池田屋商社供应EBARA荏原 EMT397M 磁浮涡轮分子泵
池田屋商社供应EBARA荏原 EMT397M 磁浮涡轮分子泵
EMT397M 属于 EMT 磁悬浮轴承型涡轮分子泵控制器为独立分体式设计,最大抽气速率 340L/s。散热方式可在空冷、水冷两种方案之间按需选择,还可增配高温规格或耐蚀规格组件,适配特殊工艺气体。设备振动水平低,支持多种安装姿态,配套网络接口,方便接入设备控制系统,符合 CE、SEMI S2、NRTL 规范。
磁浮轴承结构无机械接触,减少磨损带来的维护频次,适合持续运行的高真空工况。可处理反应生成物等特殊工艺环境,适配各类精密真空腔体。该泵适用于分析仪器、半导体工艺腔体等场景,为设备获取高真空环境,可配合各类工艺腔体完成样品分析与制程作业。
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