池田屋进口OSAKA VACUUM 大阪真空 TG2400M 磁悬浮轴承型涡轮分子泵
池田屋进口OSAKA VACUUM 大阪真空 TG2400M 磁悬浮轴承型涡轮分子泵池田屋进口OSAKA VACUUM 大阪真空 TG2400M 磁悬浮轴承型涡轮分子泵TG2400M 磁悬浮轴承涡轮分子泵，吸气接口可选 ISO-B250 与 VG250 规格，排气口统一为 KF40。氮气排气速度 2400L/s，加装金属保护网后为 2300L/s，氢气排气速度 1100L/s；氮气最大压缩比可达
池田屋进口OSAKA VACUUM 大阪真空 TG2400M 磁悬浮轴承型涡轮分子泵
池田屋进口OSAKA VACUUM 大阪真空 TG2400M 磁悬浮轴承型涡轮分子泵
TG2400M 磁悬浮轴承涡轮分子泵，吸气接口可选 ISO-B250 与 VG250 规格，排气口统一为 KF40。氮气排气速度 2400L/s，加装金属保护网后为 2300L/s，氢气排气速度 1100L/s；氮气最大压缩比可达 1×10⁸，氢气标准型压缩比 1.4×10³，耐化学气体版本为 8.3×10²。极限压力低于 1×10⁻⁶Pa，对应 Torr 数值低于 7.5×10⁻⁹。最大氮气流量 3000sccm，氩气流量 2000sccm，启动与停止耗时均为 4~5 分钟，允许辅助压力 200Pa，推荐搭配≥500L/min 前级泵，支持任意角度安装。标准型整机重量 45kg，耐化学气体版本重量 54kg，配套控制器型号 TC010MB。
泵体采用磁悬浮结构，运行振动偏低，整机功耗表现良好，内置自动校准功能，降低现场调试工作量。设备搭载维护报警机能，当部件状态出现异常时输出提示信号，运维人员可及时开展检查维护，保障真空工艺稳定持续运行。
适用场景覆盖半导体制备、FPD 面板加工、电子枪与离子源排气、表面改性、各类电子零部件、光学部件制造，同时适配热处理、理化分析试验装置、加速器及核聚变相关科研项目。
多角度安装特性适配各类腔体布局，大抽速性能可以满足大型腔体快速建立高真空环境，是工业制程与科研实验领域大型高真空系统常用设备。
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