日本进口OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine2200MI-B 磁悬浮涡轮分子泵

TGkine2200MI-B 属于 TGkineMI-B 系列控制器一体式磁悬浮涡轮分子泵，吸气口支持 ISO-B250、VG250 两种接口。氮气排气速度 2200L/s，加装金属保护网后为 2100L/s，氢气排气速度 1800L/s；氮气最大压缩比大于 2×10⁸，氢气压缩比大于 3×10⁷，极限压力低于 2×10⁻⁷Pa。最大氮气流量 5000sccm，氩气流量 3000sccm；启动时长≤10 分钟，停止时长≤10 分钟，允许辅助压力 100Pa，推荐搭配≥2000L/min 前级泵，整机重量 65kg。

该型号核心亮点为自加热结构，依靠外部加热器搭配泵内气体摩擦热，对气体接触面高效升温。相比传统整机加热方案，能够降低外部加热器功率，减少热量对泵其他部件的影响，避免泵体受热损坏，稳定维持排气口温度，减少反应生成物堆积固化，延长泵维护周期。

这款分子泵主要用于半导体、FPD、MEMS 制造刻蚀设备，适配工艺中容易产生反应生成物、高温易挥发物料的真空工况。一体式控制器节省机柜安装空间，磁悬浮轴承运行振动低，在连续的半导体刻蚀制程中，维持稳定高真空环境，减少停机维护频次，提升产线运行效率。