池田屋商社OSAKA VACUUM 大阪真空TG1300M 磁悬浮轴承型涡轮分子泵

TG1300M 磁悬浮轴承涡轮分子泵，吸气口提供 ISO-B200、VG200、CF200 多种接口选型，排气口规格为 KF40。氮气排气速度 1300L/s，加装金属保护网后为 1230L/s，氢气排气速度 1200L/s；氮气最大压缩比可达 1×10⁸，氢气压缩比 1.5×10⁴。极限压力随接口类型区分，VG 与 ISO-B 接口低于 1×10⁻⁶Pa，CF 接口低于 1×10⁻⁷Pa。最大氮气流量 3000sccm，氩气流量 1500sccm，启停耗时均为 4~5 分钟，允许辅助压力 500Pa，推荐搭配≥250L/min 前级泵，支持任意角度安装。VG、ISO-B 版本重量 34kg，CF 耐腐蚀版本为 42kg，配套控制器型号 TC010MB。

泵体拥有风冷、水冷两种散热方案，适配不同工况环境。磁悬浮结构运行振动偏低，整机功耗表现良好，内置自动校准功能，减少人工调试工作量。设备搭载维护报警机能，当部件出现异常时输出提示信号，便于运维人员及时处理，保障真空制程稳定运行。

适用场景覆盖半导体制备、FPD 面板生产、电子枪与离子源排气、表面改性、电子零部件、光学部件制造，也可用于热处理、理化分析试验装置、加速器及核聚变相关科研项目。多角度安装特性适配各类腔体布局，大抽速性能可以满足大型腔体快速获取高真空的需求，是工业制程与科研实验中常用的高真空获取设备。

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