池田屋原装到货OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine2205M-R 涡轮分子泵

池田屋原装到货OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine2205M-R 涡轮分子泵

池田屋原装到货OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine2205M-R 涡轮分子泵

TGkine2205M-R 磁悬浮轴承涡轮分子泵，吸气口 ISO-B250/VG250，排气口 KF50，整机重量 59kg，配套控制器 TC0321M。氮气排气速度 2200L/s，加装金属保护网后 2100L/s，氢气排气速度 1800L/s；氮气最大压缩比大于 2×10⁸，氢气压缩比 3×10³。极限压力小于 2×10⁻⁷Pa，最大氮气流量 7000sccm，氩气流量 3000sccm，启停时长≤10 分钟，允许辅助压力 220Pa，推荐搭配≥2000L/min 前级泵，支持任意角度安装。

产品采用省电设计，泵本体可存储参数、运行记录与异常信息，更换控制器时可完整迁移数据，降低维护调试成本。设备搭载多类型通信接口，兼容 EtherCAT 通信，便于接入工厂自动化系统，实时读取泵体运行状态。整机满足 CE、NRTL、SEMI-S2 安全规范，磁悬浮结构没有机械接触磨损，运行振动小，保障真空环境稳定。

对比同系列 2204M-R，本型号升级 KF50 排气口，管路通径更大，降低大流量工况下的管路压力损耗，更适合气体负荷较高的真空制程。多用于半导体大型腔体工艺、真空镀膜设备、高端理化分析装置。任意角度安装适配复杂设备结构，强大的数据存储与总线通讯能力，方便产线集中监控，为高流量高真空生产工艺提供稳定可靠的抽气支持。

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