进口原装 OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine2204M-R 磁悬浮分子泵

进口原装 OSAKA VACUUM 大阪真空  TGkine2204M-R 磁悬浮分子泵

进口原装 OSAKA VACUUM 大阪真空  TGkine2204M-R 磁悬浮分子泵

TGkine2204M-R 磁悬浮轴承涡轮分子泵，吸气口规格 ISO-B250/VG250，排气口 KF40，整机重量 59kg，配套控制器型号 TC0321M。氮气排气速度可达 2200L/s，加装金属保护网后为 2100L/s，氢气排气速度 1800L/s；氮气最大压缩比大于 2×10⁸，氢气压缩比 3×10³。极限压力低于 2×10⁻⁷Pa，最大氮气流量 7000sccm，氩气流量 3000sccm。启停时间均不超过 10 分钟，允许辅助压力 220Pa，推荐搭配≥2000L/min 的前级辅助泵，支持任意角度安装。

产品采用省电运行方案，泵本体内置存储模块，保存设备设置参数、运行数据以及故障历史。维护更换控制器时，能够完成全部数据迁移，减少重新调试的工作量。设备配备多种通信接口，兼容 EtherCAT 通信协定，方便接入自动化产线控制系统。整机符合 CE、NRTL、SEMI-S2 安全规范，磁悬浮轴承结构无机械摩擦，运行振动低，延长设备使用周期。

该型号适配半导体薄膜沉积、刻蚀设备、大型真空检测腔体等场景，KF40 排气口适配常规前级管路。任意角度安装特性，方便设备腔体布局。丰富的数据存储与工业总线通信能力，契合自动化产线的数据采集需求，为大流量高真空工艺提供稳定抽气能力。

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