OSAKA VACUUM大阪真空

原装进口OSAKA VACUUM大阪真空 TG390M 磁悬浮涡轮分子泵

原装进口OSAKA VACUUM大阪真空 TG390M 磁悬浮涡轮分子泵原装进口OSAKA VACUUM大阪真空 TG390M 磁悬浮涡轮分子泵TG390M 磁悬浮轴承涡轮分子泵,吸气口支持 ISO-B100/VG100/CF100 多种接口规格,排气口采用 KF25 接口。氮气排气速度 340L/s,加装金属保护网后为 320L/s,氢气排气速度 290L/s;氮气最大压缩比可达 1×10⁸,氢

原装进口OSAKA VACUUM大阪真空 TG390M 磁悬浮涡轮分子泵


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TG390M 磁悬浮轴承涡轮分子泵,吸气口支持 ISO-B100/VG100/CF100 多种接口规格,排气口采用 KF25 接口。氮气排气速度 340L/s,加装金属保护网后为 320L/s,氢气排气速度 290L/s;氮气最大压缩比可达 1×10⁸,氢气压缩比 4.5×10³。极限压力根据接口类型有所区分,VG 与 ISO-B 接口低于 1×10⁻⁶Pa,CF 接口低于 1×10⁻⁷Pa。最大氮气气体流量 2000sccm,氩气流量 700sccm,启动时间 2~3 分钟,停止时间 4~5 分钟,允许辅助压力 400Pa,配套推荐辅助泵排量≥160L/min。


设备重量根据版本区分,VG、ISO-B 版本为 14kg,CF 耐腐蚀版本为 17kg,配套控制器型号 TC010MB。产品采用轻量化机身设计,运行能耗低,运行状态低振动,转子可自动校准,无需人工调节。转子转速支持控制,可匹配不同工艺真空需求;搭载维护报警机能,便于运维人员及时掌握设备状态。


这款分子泵支持任意角度安装,适配设备紧凑化布局,可用于表面分析仪器、科研真空腔体、半导体小型制程设备等场景。磁悬浮结构无机械接触,减少磨损,配合自动校准功能,保障真空输出稳定。整机满足多项安全规范,在精密分析与小型高真空工艺中,稳定抽取气体,为实验与生产提供可靠高真空环境。


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