池田屋商社供应OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine2204M-B 一体化分子泵

池田屋商社供应OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine2204M-B 一体化分子泵

池田屋商社供应OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine2204M-B 一体化分子泵

TGkine2204M-B 一体化磁悬浮轴承涡轮分子泵，吸气口 ISO-B250/VG250，排气口 KF40，整机重量 62kg，单相 AC200-240V 供电，50/60Hz，最大功耗 900VA，最大电流 5.3A。氮气排气速度 2200L/s，加装金属保护网后 2100L/s，氢气排气速度 1800L/s；氮气最大压缩比大于 2×10⁸，氢气压缩比 3×10³。极限压力低于 2×10⁻⁷Pa，最大氮气流量 4400sccm，氩气流量 2600sccm，启停时间均≤10 分钟，允许辅助压力 220Pa，推荐搭配≥2000L/min 前级辅助泵，支持任意角度安装。

这款泵体将电源控制器与分子泵集成一体，省去独立控制器的布线空间，整机结构轻巧，运行功耗更低。外壳防护等级 IP54，可以抵御现场溅水与粉尘，适配车间复杂环境。设备搭载多种通信接口，便于接入设备控制系统，实现状态监测。整机符合 CE、NRTL、SEMI-S2 安全规范，磁悬浮轴承无机械接触，运行振动偏低，减少日常维护。

本型号排气口 KF40，适配常规前级管路，多用于半导体制造、FPD 面板、太阳能电池、光学镜片镀膜、薄膜加工等设备。任意角度安装特性，方便设备腔体紧凑布局，一体化设计降低配套成本，为各类薄膜与真空制程提供稳定高真空环境。

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