原装进口OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine3405M-R 涡轮分子泵

原装进口OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine3405M-R 涡轮分子泵

原装进口OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine3405M-R 涡轮分子泵

TGkine3405M-R 磁悬浮轴承涡轮分子泵，吸气口 VG350，排气口 KF50，整机重 67kg，配套控制器 TC0331M。氮气排气速度 3300L/s，加装金属保护网 3100L/s，氢气排气速度 2700L/s；氮气最大压缩比大于 1×10⁸，氢气压缩比 3×10³。极限压力低于 2×10⁻⁷Pa，最大氮气流量 2600sccm，氩气流量 1900sccm。启动时长≤11 分钟，停止时长≤13 分钟，允许辅助压力 170Pa，推荐前级泵≥2000L/min，支持任意角度安装。

产品采用省电运行方案，泵体内置存储空间，保存配置参数、运行数据与异常记录，更换控制器时可完整迁移数据，缩减现场调试时间。设备支持多种通信接口，兼容 EtherCAT 总线，方便接入自动化产线实现远程监控。整机满足 CE、NRTL、SEMI-S2 安全规范，磁悬浮结构无机械摩擦，运行振动低，保障真空环境稳定。

对比 TGkine3404M-R，本型号采用 KF50 大口径排气口，降低管路节流带来的压力损失，更适合气体负荷偏高的大型真空腔体工艺。适用领域包含半导体制造、FPD、太阳能电池、光学元件加工、镀膜、空间环境模拟器。任意角度安装可灵活适配设备腔体布局，超大抽速能够快速建立高真空，为各类高端真空制程提供稳定的抽气保障。

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