进口原装OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine3404M-R 磁悬浮分子泵

进口原装OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine3404M-R 磁悬浮分子泵

进口原装OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine3404M-R 磁悬浮分子泵

TGkine3404M-R 磁悬浮轴承涡轮分子泵，吸气口 VG350，排气口 KF40，整机重量 67kg，配套控制器 TC0331M。氮气排气速度 3300L/s，加装金属保护网后为 3100L/s，氢气排气速度 2700L/s；氮气最大压缩比大于 1×10⁸，氢气压缩比 3×10³。极限压力低于 2×10⁻⁷Pa，最大氮气流量 2600sccm，氩气流量 1900sccm。启动时长≤11 分钟，停止时长≤13 分钟，允许辅助压力 170Pa，推荐搭配≥2000L/min 前级辅助泵，支持任意角度安装。

该分子泵采用省电设计，泵本体内置存储单元，保存设备设置参数、运行日志以及异常历史记录。维护更换控制器时，可完整迁移全部数据，减少现场重新调试的工作量。设备搭载多类通信接口，兼容 EtherCAT 通信协定，便于接入工厂自动化控制系统，实时采集泵体运行状态。整机符合 CE、NRTL、SEMI-S2 安全规范，磁悬浮轴承无机械接触，运行振动低，降低部件磨损。

本型号配置 KF40 排气口，适配常规前级真空管路，应用场景覆盖半导体制造、FPD 面板、太阳能电池、光学镜片加工、镀膜工艺、空间环境模拟装置。任意角度安装特性，方便腔体结构布局，大容量抽速可满足大型真空腔体的工艺需求，为薄膜沉积、刻蚀等制程提供稳定高真空环境。

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