池田屋商社供应 HAMAMATSU滨松 C11295 多点同步膜厚检测系统

池田屋商社供应 HAMAMATSU滨松 C11295 多点同步膜厚检测系统

C11295-15 多点纳米膜厚测量系统，配置 15 测量通道，功耗约 500VA，整机重量约 6kg，使用氙光源，测量波长区间 320nm~1000nm，光斑 φ1mm，工作距离 10mm，单点测量耗时 19ms。

系统可同时对样品表面 15 个点位开展实时测量，无需参考样品，通过光强波动校正维持长期测量稳定，能够应对表面起伏变化的薄膜。依托 FFT 与拟合分析算法，解析最多 10 层薄膜，同时采集反射、透射光谱，计算光学常数 n、k。自带报警提示功能，可自定义判定阈值，输出状态信号。

设备配备以太网、USB2.0 与 RS-232C 接口，支持外部上位机联动，可安装在半导体制造设备内，完成 APC 与薄膜质量管控。多点同步测量的特性，适合大面积晶圆薄膜均匀性检测，在量产产线中快速获取整片样品多个位置膜厚数据，评估薄膜分布状态，减少抽样检测带来的数据偏差，支撑半导体薄膜量产品质管控。

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