原厂直销HANANATSU滨松 C11295 多点纳米膜厚测量仪

原厂直销HANANATSU滨松 C11295 多点纳米膜厚测量仪

C11295-02 多点纳米膜厚测量系统，搭载氙光源，测量波长覆盖 320nm 至 1000nm，光斑尺寸约 φ1mm，工作距离 10mm，单点测量耗时 19ms。设备为 2 通道配置，功耗约 350VA，整机重量约 6kg，光纤接口采用 SMA 接头。

系统支持无参考操作模式，通过校正光强度波动维持长期测量稳定，可精准测量起伏变化的薄膜样品，采用 FFT 分析与拟合分析算法，可解析最多 10 层薄膜结构。除膜厚数值外，设备还可采集样品反射率、透射率光谱，分析光学常数 n、k。内置报警提示功能，设置判定阈值后输出通过 / 失败信号。

通讯接口包含以太网、USB2.0、RS-232C，支持外部控制系统对接，方便集成至半导体制造设备，用于 APC 与薄膜制程品质管控。设备可实时同步采集多通道点位数据，适合薄膜沉积工艺开发、小批量晶圆制程监控，及时捕捉膜厚波动，辅助工艺人员调整参数，保障薄膜器件制备稳定性。

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