精品到货HAMAMATSU滨松 C15765-01 PHEMOS-X 微光显微镜

精品到货HAMAMATSU滨松 C15765-01 PHEMOS-X 微光显微镜

C15765-01 PHEMOS-X 发射显微镜，依靠检测器件缺陷产生的微弱光信号与热发射信号，完成芯片失效点位定位。设备可搭载两台高灵敏度相机，覆盖不同波段的发射信号与热信号检测，用户可根据样品失效类型，选择适配的分析手段。系统可装配多达 7 组光源，支持 OBIRCH、DALS、EOP 与激光标记功能，单台设备可实现可见光至近红外波段的多种分析操作。

光学载台专为半导体器件研发设计，X、Y 行程 ±20mm，Z 行程 + 80mm，能够完成样品精细位移调节。软件搭载图像叠加与对比度增强功能，将发射图像叠加在版图图案之上，快速锁定缺陷位置。软件配套标注、标尺、网格、缩略图、多窗口分屏显示功能，图像可保存调取，便于实验复盘。

设备可搭配通用探针台使用，支持 300mm 晶圆探针板等多种样品载体，能够开展发射成像、热成像、TD 成像、IR-OBIRCH 等多项分析任务。外接测试机联动后，可开展动态工况下的失效捕捉。

该设备适配集成电路、功率器件、存储芯片的研发实验室与可靠性分析部门。在芯片可靠性测试后，定位漏电、短路等隐性失效，辅助工程师查找芯片设计或者工艺层面问题，支撑芯片迭代与可靠性验证，缩短故障排查周期。

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