原装精品HAMAMATSU滨松 C10506-07-06 iPHEMOS-MPX 倒置发射显微镜

原装精品HAMAMATSU滨松 C10506-07-06 iPHEMOS-MPX 倒置发射显微镜

C10506-07-06 iPHEMOS-MPX 倒置发射显微镜，采用倒置光路设计，信号从样品底面采集，方便搭配晶圆探针台，完成晶圆级样品的探测与测试，样品装调流程更加顺畅。平台支持安装两台高灵敏度相机，覆盖不同波段的发射信号与热信号采集，可根据样品失效类型挑选适配的分析方案。

系统最多搭载 4 组光源，支持 OBIRCH、DALS、EOP 以及激光标记功能，配套高灵敏度微距镜头，镜头数量最多可配置 10 支，匹配各类探测器的响应波段。光学载台 X/Y 行程 60mm，Z 行程 20mm，满足各类中小尺寸芯片样品定位需求。

软件搭载图像叠加与对比度增强功能，将发射图像叠加在版图图案上，快速锁定缺陷位置。软件支持标注、标尺、网格、缩略图、分屏多窗口显示，可存储并回溯检测图像。设备可外接测试机联动，开展动态失效分析，支持 300mm 晶圆探针台、多针接触卡以及 PCB 板样品观测。

该设备广泛应用于集成电路、功率半导体器件的失效分析实验室。在芯片可靠性验证阶段，捕捉器件缺陷产生的微光与热辐射，定位漏电、短路等故障。可用于芯片研发故障排查、产品可靠性失效复盘，助力研发人员查找芯片设计或者工艺层面问题，加速器件迭代验证。

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