原厂现货HAMAMATSU滨松 C15740-01 MiNY PL Micro LED 光致发光检测系统

原厂现货HAMAMATSU滨松 C15740-01 MiNY PL Micro LED 光致发光检测系统

C15740-01 MiNY PL 检测系统依托光致发光测量方案，属于非接触无损检测设备，支持 100mm（4 英寸）、150mm（6 英寸）晶圆，可根据需求兼容其他尺寸晶圆。设备搭载 λ-Capture 波长检测技术，无需传统单点扫描光谱仪，一次成像即可完成整片晶圆波长测绘，波长检测精度可达 ±0.5nm。

系统可同步完成三项检测维度：发射波长、PL 发光强度以及晶圆外观检查，能够识别传统 AOI 光学检测无法捕捉的芯片内部晶格缺陷，弥补 EL 电致发光检测的短板。空间分辨率可选 1μm/0.5μm 模式，可侦测微米级 Micro LED 芯片异常，软件自动划分良劣品，输出缺陷分布图。

整套设备测量时间约 12 分钟（10 倍镜 PL 测量 + 4 晶圆），可以放置在制造前段工序，在早期筛除不良芯片，减少后续制程成本。配套分析软件可展示波长映射图像，区分波长偏移、发光不均等各类缺陷，支持多芯片设计方案，可设置质量判定阈值。

该设备面向 Micro LED 显示芯片制造行业，适用于晶圆制造阶段品质筛查。在新型显示产线中，通过提前锁定晶圆内部隐性缺陷，减少后续巨量转移环节的损耗，助力产线稳定管控芯片发光色彩一致性，适配研发试产与量产质检场景。

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