Fluoro Mechanic F002-Z-02-3F PCTFE真空吸杆（Teflon®笔身/5英寸晶圆/夹头卡盘接头）Fluoro Mechanic F002-Z-02-3F PCTFE真空吸杆（Teflon®笔身/5英寸晶圆/夹头卡盘接头）产品概述：Fluoro Mechanic F002-Z-02-3F是一款专为125mm（5英寸）半导体晶圆处理设计的真空吸杆。笔身采用Teflon®材质
Fluoro Mechanic F002-Z-02-3F是一款专为125mm（5英寸）半导体晶圆处理设计的真空吸杆。笔身采用Teflon®材质，吸头采用PCTFE材质，具有优异的耐低温、耐化学腐蚀和低气体渗透性。
该型号为常开（NO）阀门设计，夹头卡盘接头（Z型）提供稳固的连接方式，适用于低温工艺、强腐蚀环境等苛刻条件下需要快速连续操作的晶圆处理。
一、PCTFE吸头（02-3F）
材质：PCTFE（聚三氟氯乙烯，Kel-F®）
特性：透明/半透明，硬质，耐低温（低至-200°C）、优异的耐化学腐蚀性、极低气体渗透性
应用：适用于低温工艺环境、强腐蚀性介质接触、需要低渗透性的晶圆处理
二、常开（NO）阀门类型
阀门类型：NO（常开型）
操作方式：按住吸杆上端的按钮以释放晶圆，松开则吸住
适用于需要快速连续取放的操作流程
三、Teflon®笔身
材质：Teflon®（PTFE），表面光滑且不粘附，耐化学性优异
笔身材质柔软，可弯曲，有效防止对晶圆的冲击
适用于对表面质量要求极高的晶圆处理
四、夹头卡盘接头（Z型）
连接类型：夹头卡盘接头（Collet Chuck Joint）
提供稳固的连接方式
适合需要牢固固定的操作场景
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | F002-Z-02-3F |
| 品牌 | Fluoro Mechanic（福乐/FLUORO） |
| 适用晶圆尺寸 | 5英寸（125mm） |
| 阀门类型 | NO（常开型） |
| 接头类型 | 夹头卡盘接头（Z型） |
| 笔身材质 | Teflon®（PTFE） |
| 吸头材质 | PCTFE（聚三氟氯乙烯，透明/半透明） |
| 长度 | 224mm |
| 重量 | 约33g |
| 笔身编码 | F002-Z（含110） |
| 吸头编码 | 02-3F |
耐低温：可在-200°C极低温环境下使用，适用于液氮、低温泵等低温工艺
耐化学腐蚀：优异的耐化学性，可接触多种强腐蚀性介质
低气体渗透：气体渗透性极低，适用于真空和气体密封环境
透明/半透明外观：便于观察吸头位置和晶圆状态
| 型号 | 阀门类型 | 吸头材质 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| F001-Z-02-3F | NC（常闭） | PCTFE | 低温/强腐蚀，精确控制 |
| F001-Z-02-PK | NC（常闭） | PEEK | ESD防护，精确控制 |
| F001-Z-02-VP | NC（常闭） | Vespel® | 高温/真空，精确控制 |
| F002-Z-02-3F | NO（常开） | PCTFE | 低温/强腐蚀，快速操作 |
| F002-Z-02-PK | NO（常开） | PEEK | ESD防护，快速操作 |
| F002-Z-02-VP | NO（常开） | Vespel® | 高温/真空，快速操作 |
| F003-Z-02-3F | NO+SW | PCTFE | 低温/强腐蚀，带开关 |
| F003-Z-02-PK | NO+SW | PEEK | ESD防护，带开关 |
| F003-Z-02-VP | NO+SW | Vespel® | 高温/真空，带开关 |
| 项目 | PEEK（02-PK） | Vespel®（02-VP） | PCTFE（02-3F） |
|---|---|---|---|
| 材质 | 导电PEEK | Vespel® | PCTFE |
| 颜色 | 黑色 | 褐色 | 透明/半透明 |
| 耐温性 | ~260°C | 300°C（长期） | -200°C |
| 导电性 | 导电（ESD防护） | 非导电 | 非导电 |
| 适用场景 | 常温ESD敏感 | 高温/真空 | 低温/强腐蚀 |
| 系列 | 接头类型 | 长度 | 重量 | 适用晶圆 |
|---|---|---|---|---|
| C系列（X型） | 球状旋转接头 | 239mm | 23g | 5英寸 |
| F系列（Z型） | 夹头卡盘接头 | 224mm | 33g | 5英寸 |
5英寸半导体晶圆的搬运与转移
低温工艺中的晶圆处理
强腐蚀性化学环境的晶圆操作
需要极低气体渗透性的真空操作
需要快速连续取放的流水线作业
笔身和吸头需要分别订购：请同时订购笔身（F002-Z，含110）和吸头（02-3F）
建议配合专用真空泵使用
PCTFE为非导电材质，如需ESD防护请选择PEEK吸头（02-PK）
Fluoro Mechanic F002-Z-02-3F PCTFE真空吸杆通过Teflon®笔身提供柔软、不损伤晶圆的处理体验，PCTFE吸头（02-3F）提供优异的耐低温（-200°C）、耐化学腐蚀和极低气体渗透特性，常开（NO）阀门设计便于快速连续操作，夹头卡盘接头（Z型）提供稳固的连接方式，是5英寸晶圆在低温、强腐蚀环境等苛刻条件下需要快速连续操作的理想工具。
